3D光學表面輪廓粗糙度儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器。采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精度研磨導軌、高性能非接觸直線電機、音圈電機測力系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，實現(xiàn)對各種工件表面粗糙度和輪廓進行測量和分析。通過高精度研磨導軌、高性能直線電機保證測量的高穩(wěn)定性及直線度，采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)建立工件表面輪廓的二維坐標，計算機通過修正算法對光柵數據進行修正，還原出工件輪廓信息并以曲線圖顯示出來，通過軟件提供的分析工具可對輪廓進行各種參數分析。
表面輪廓粗糙度儀為全自動測量設備，操作者只需裝好被測工件，在檢定軟件上設定掃描的開始、結束位置，點擊“開始”按鈕，測針會自動接觸工件表面，并按設定的位置掃描；可高精度地測量精密加工零部件的粗糙度和輪廓形狀，再選擇所需評價參數即可進行評價。
3D光學表面輪廓粗糙度儀能實現(xiàn)下列功能：
1.建立回歸直線和圓形；
2.建立點、交點、自由點、中心點、高點和低點；
3.建立坐標系統(tǒng)；
4.計算半徑、距離、角度、坐標及線性偏差；
5.實際值與標稱值比較；
6.測量程序自動運行；
7.表面粗糙度評定：Ra、Rz、Rt、RS、RSm、Rp、Rv、Rq、Rt、Rmax、D、Rmr曲線、Rdc等；
8.濾波：2RC濾波，高斯濾波和零相位濾波器；
9.測量記錄采用集中式數據庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢測員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理測量記錄；
10.可從數據庫中選定多條記錄成批打印測量記錄；
11.可將檢定數據輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔；
12.具有數據備份和還原數據庫功能。
3D光學表面輪廓粗糙度儀的主要應用：
1.臺階高度：2D和3D臺階高度；
2.紋理：2D和3D粗糙度和波紋度；
3.形狀：2D和3D翹曲和形狀；
4.應力：2D和3D薄膜應力；
5.缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌；
6.大學、研究實驗室和研究所；
7.半導體和化合物半導體；
8.LED：發(fā)光二極管；
9.太陽能；
10.MEMS：微機電系統(tǒng)。
